光刻機是芯片智造的核心設(shè)備之一，也是當(dāng)下尤為復(fù)雜的精密儀器之一。正因為此，荷蘭光刻機智造商阿斯麥通研制的EUV光刻機才會“千金難求”。

很多人都對光刻機有所耳聞，但其實不同光刻機的用途并不一樣。像上文提及的EUV光刻機則是用于生產(chǎn)芯片的光刻機，此外還有封裝芯片的光刻機以及用于LED 制造領(lǐng)域的投影光刻機。

近幾年，我國本土企業(yè)在光刻機的研制方面正一步一個腳印地穩(wěn)步前進，拿上海微電子裝備股份有限公司來說，近幾年，其先后推出了IC前道制造光刻機SSX600 系列光刻機、IC后道先進封裝SSB500系列光刻機、LED 制造SSB300系列光刻機、TFT曝光SSB200 系列光刻機。

劃重點，上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶，先后多次從我司購入高性能音圈電機模組用于產(chǎn)品中，那音圈電機模組在光刻機中具體作用是什么？音圈電機模組主要用于光刻機掩模臺系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機模組運動工況分為掃描運動和定位運動，其中掃描運動主要完成硅片曝光處理，該運動對定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時間的優(yōu)化。音圈電機模組 系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是光刻機很重要的要件。

昆山同茂電子有限公司是一家集音圈電機模組 研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，同茂自研自產(chǎn)自銷的音圈電機模組均采用歐美技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和加工工藝，具備高性能、高質(zhì)量，歡迎多多關(guān)注。

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